
يُستخدم شعاع الإلكترون والأيون على نطاق واسع للتحليل الكمي والنوعي لمواد وأجهزة أشباه الموصلات. يمكنه تصوير الهياكل بدقة تقل عن النانومتر، ويُوفر معلومات عن التركيب العنصري وتركيز الملوثات. يشرح هذا المساق أساسيات تقنيات تحليل شعاع الإلكترون والأيون ويشتمل على مشروع عملي لتحليل خشونة سطح خلية شمسية مما يتيح تطبيق المفاهيم على أعمال فعلية وفهم دقيق لطرق القياس والاستنتاج.
Trevor Thornton